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設(shè)備特點(diǎn)：
★機(jī)械泵前加裝過(guò)濾網(wǎng)，抽氣口加裝過(guò)濾網(wǎng)、百葉窗等防護(hù)件，氣路設(shè)計(jì)避免揚(yáng)塵
★西門(mén)子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制或電腦控制可選，完善的邏輯程序互鎖保護(hù)及異常報(bào)警
★自動(dòng)控制蒸發(fā)源輸出，可選配共蒸發(fā)制備工藝
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600/800×700×700
設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：1200×950×2000/1850×870×2100
★真空極限：優(yōu)于（3E﹣05）Pa
抽速保壓：（8E﹣04）≤20min保壓12小時(shí)≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺(tái)：210mm×210mm/350mm×350mm
★蒸發(fā)源：可搭配4～8組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)，可與電子束進(jìn)行對(duì)接
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