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設備特點：
★進口雙導軌前滑動開門節(jié)省手套箱空間
★節(jié)約實驗室場地不占用手套箱以外空間
★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦控制可選，完善的邏輯程序互鎖保護及異常報警
★可搭配離子源進行表面清潔和離子輔助蒸鍍，也可搭配電阻蒸發(fā)源使用
★行星式工件架，公轉+自轉/穹頂式/自動翻面/平板式工件架可選，轉速可調
設備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600mm/600×650×800mm
★真空極限：優(yōu)于（3E﹣05）Pa
抽速保壓：（8E﹣04）≤30min保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺：≤150mm×150mm/200mm×200mm
★蒸發(fā)源：8-10KW電子槍4-8坩堝可選；可同時兼容2-4組電阻蒸發(fā)或有機束源爐
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