密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★反應內腔和外腔配置獨立高性能MKS真空計,可實時觀察ALD工藝過程中壓強變化和內外壓強差
★自動控制軟件,操作簡單;具有CDA報警以及防溫度失控硬件保護功能,保障ALD工藝安全性
設備參數:
★樣品臺:8英寸樣品臺雙腔室反應腔,兼容210×210 mm方形樣品,樣品臺空間高度100mm,可適用多片堆疊工藝
★加熱均勻性:真空內輻射加熱,樣品溫度可加熱到400℃,反應區域空間溫度在200℃時均勻性≤±2℃,溫度控制精度±0.5℃
★前驅體源:配置6路前驅體源:其中4路加熱金屬源、1路水前驅體源和1路臭氧前驅體源
★沉積非均勻性:8英寸內沉積50nm氧化鋁非均勻性≤±1%