密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★全不銹鋼真空腔室,保證系統的耐久性及操作安全性
★更的小體積,系統采用模塊化設計,可擴展性高
★系統采用機械泵+進口分子泵組成高真空系統,抽到工作高真空僅需15-20min,節省實驗時間
設備參數:
★腔體尺寸(L×W×Hmm):Φ220×H340(圓柱型)
★設備尺寸(L×W×Hmm):600×600×1000
★基片臺:基片樣品臺加熱溫度室溫≤350°
★真空極限:(5E﹣05)Pa
★抽速保壓:(8E﹣04)Pa≤30min保壓12小時≤8pa
★托盤均勻性優于±3%~±5%
★濺射靶槍兩個2英寸濺射尺寸2-3英寸