密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★微波系統微波頻率2450±25MHz 微波泄漏≤2 mw/cm2
★真空系統工作氣壓范圍0~250Torr,自動穩壓范圍40~250Torr
★氣路系統自帶四路MFC,可擴展至六路
★自帶缺水,缺氣,電源缺相,等離子體偏移,過溫過載,打火等自動保護,生產流程通過工藝配方自動控制,全自動溫度控制,氣壓控制等
★軟件配置西門子PLC+10寸西門子觸摸顯示屏,所有操作均可在觸摸屏上完成
設備參數:
★輸出功率:0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 連續可調
★生長臺:沉積臺為80mm,高度為110mm/沉積臺為100mm,高度為110mm
★基片臺:電動升降式水冷直徑80mm鉬基片臺直徑≥50mm/電動升降式水冷直徑100mm鉬基片臺直徑≥75mm