密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★真空測量采用數字式全量程真空規管??刂葡到y采用觸摸屏設置參數,一鍵式操作。
★內部樣品托盤采用可拆卸式,配備吸氣環方便玻璃基片放置;在放置柔性基片和硅片時可采用吸氣板式托盤。
★腔體頂部設置DN100視窗,便于觀察樣品處理過程。
設備參數:
★樣品尺寸:210mm×210mm/300mm×300mm
600mm×600mm/600×1200mm 最大厚度30mm
★極限真空:0.1Pa
★抽空時間:10秒至5Pa