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★罐體尺寸：304不銹鋼真空方形腔體，腔容積約L300×W300×H250mm
★設備外形尺寸：L520×W700×H850mm
★清洗區域尺寸：260*260mm
★極限真空度：1*10-1Pa
★射頻電源：功率0～150W可調可控 射頻頻率：13.56兆赫茲
★極限真空：（6E﹣02），工作電壓220伏
★PLC+觸摸屏手自動控制系統。一體式機柜，噴塑處理
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