密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★配置高性能薄膜真空計和大氣壓力檢測真空計,可實時觀察ALD 工藝過程中壓強變化
★自動控制軟件,具有CDA報警以及防溫度失控硬件保護功能,保障ALD工藝安全性
★沉積材料:HfO2、ZrO2、SnO2、A1203、ZnO、TiO2等,沉積薄膜非均勻性<±2%
★提供38℃氧化鉿工藝for14nm及以下集成電路先進工藝節點TEM分析,防止電子束對低溫光刻膠的損傷和變形,氧化鉿鍍膜3nm工藝時間<15min
設備參數:
★真空腔室:4英寸樣品沉積反應腔,樣品溫度可加熱到150℃,溫度控制精度±0.5℃
★前驅體源:配置3路前驅體源:2路加熱金屬前驅體源和1路常溫水前驅體源
★抽速:配置高性能雙極旋片真空泵,抽速不小于65m3/h