密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★升降結構平穩,樣品臺水平度好,利于生長較均勻厚膜絲架采用特殊結構,熱絲的平行度好能長期穩定工作
★更合理的氣路布局及更貼合生產工藝的細節考慮,可長期穩定工作
★軟件配置西門子PLC+10寸西門子觸摸顯示屏,操作界面友好,所有操作均可在觸摸屏上完成
★實現φ100-300mm基片范圍內均勻沉積
設備參數:
★腔體尺寸:φ450×H350mm/φ650×H500mm
★基片臺:150mmx150mm/200mmx200mm
★溫度:熱絲溫度1800℃-2500℃襯底溫度600℃-1000℃,電源型式專用熱絲電源15/25kw