密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★設備可配備矩形磁控濺射靶,圓形平面靶、柱狀靶,多弧靶,離子源等
★設備功能強大、磁控、多弧、離子源等通用接口安裝實現任意組合,可最大限度實現多種類膜層的制備
★適合研發實驗室初期多用途薄膜制備平臺的搭建
設備參數:
★腔體尺寸:304不銹鋼腔室Φ650×H700mm
★真空極限:優于(5E﹣05)Pa
★工件架:約Φ350mm,4-6工位公/自轉工件架;可加偏壓
★工件烘烤溫度:室溫500±5℃ 可調可控(PID控溫)
★工件架轉速:0-20RPM可調