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設備特點：
★鍍率PID自動調節，實現穩定蒸鍍速率
★長時間運行生產，確保產線稼動率
★線型蒸發源最高溫度650℃；點型蒸發源最高溫度1500℃
設備參數：
★基板尺寸：基板最大寬幅≤650mmx450mm；roller to roller傳動
★蒸鍍方式：點型蒸發源、電子束、線型蒸發源
★膜厚均勻性優異（±3％~±5%）重復性優異（±2％~±3%）
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