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設(shè)備特點(diǎn)：
★前后開門保證密封，前滑動開門操作輕便，氣動自動鎖緊；開后門裝料/檢修時大氣不會進(jìn)入手套箱環(huán)境，后門關(guān)閉時可直接通過把手鎖緊密封
★溫控有機(jī)蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結(jié)構(gòu)擋板一體化設(shè)計保證有機(jī)材料不被污染，不僅角度可調(diào)，均勻性好還可通過進(jìn)口膜厚儀聯(lián)動控制實現(xiàn)速率精確控制、摻雜等
★設(shè)備兼容有機(jī)/無機(jī)蒸發(fā),多元共蒸復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜
★樣品臺可升降調(diào)整源-基片距離，有效節(jié)約貴重材料，降低實驗成本
★系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏操作，整體美觀操作簡單，自動化程度高
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：400×400×450/450×400×550
設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：950×780×1900/950×830×1900
★真空極限：優(yōu)于（2E﹣05）Pa
抽速保壓：（5E﹣04）≤20min 保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺：150mm×150mm/200mm×200mm
★蒸發(fā)源：可搭配4～8組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)
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