密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
設備特點:
★系統可選擇配備低氣壓濺射技術,制備薄膜致密,對基底損傷小
★J濺射腔體采用SUS304不銹鋼材料,腔體內表面包括屏蔽板全部鏡面拋光,可以獲得潔凈的工作環境和良好的真空度
★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦+PLC全自動控制可選
設備參數:
★腔體尺寸(L×W×Hmm):1500×850×1900/1500×850×1900
★設備尺寸(L×W×Hmm):440×440×450/550×440×450
★基片臺:最高溫度 500℃ 控溫誤差±1℃
★真空極限:(2E﹣05)Pa
★抽速保壓:(8E﹣04)Pa≤20min保壓12小時≤5pa
★托盤均勻性優于±3%~±5%
★濺射靶可選取矩形靶(210mm×210mm/300mm×300mm)和圓形靶濺射尺寸