密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />
★整機外形尺寸:L1000×W750×H1600(mm)
★反應腔尺寸:520×520×H600(mm),約150L
★清潔尺寸:500×500mm
★射頻電源:13.56MHz,600W
★氣體流量控制:1-2路質量流量控制器(0~500SCCM)
★工作氣體:氧、氬氣,另提供一路氮氣用于冷卻樣品(高純,用戶自備)
★壓縮空氣:接口壓力大于0.5MPa(用戶自備)
★真空抽氣及測量系統:配備一臺8L機械泵,抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管,
★控制方式:采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機界面控制方式,操作方式包括手動模式或自動模式,在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時存儲100組不同配方。使用時只需將相應配方號調出即可。